超临界干燥可用于微机电系统（MEMS）的生产，香料的干燥，气凝胶的生产，咖啡的脱咖啡因以及用于扫描电子显微镜的生物样品的制备。
  
  适用于超临界干燥的流体包括二氧化碳（临界点304.25K，7.39MPa或31.1℃，1072psi）和氟利昂（≈300K，3.5-4MPa或25-0℃，500-600psi），一氧化二氮具有与二氧化碳类似的物理行为，但是在其超临界状态下是强氧化剂。超临界水是不方便的，因为在临界点温度（647K，374°C）下样品可能受到热损坏，并且在如此高的温度和压力（22.064MPa，3,212psi）下水的腐蚀性。
  
  在大多数此类方法中，首先使用丙酮洗去所有水，利用这两种流体的完全混溶性。然后用高压液态二氧化碳洗去丙酮，现在是氟利昂不可用的工业标准。然后加热液态二氧化碳直至其温度超过临界点，此时压力可逐渐释放，使气体逸出并留下干燥的产物。